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藍寶石CMP概述

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點擊次數:1114 更新時間:2018年01月17日11:38:24 打印此頁 關閉

藍寶石為剛玉族礦物,莫氏硬度為9,熱特性、電氣特性和介電特性極好,而且惰性強、透光性和耐磨性好,是一種光學特性、物理特性、機械特性和化學特性獨特組合的氧化物晶體。

    化學機械拋光(CMP)是當前世界上唯一可以實現全局平坦化的工藝技術,在許多領域都得到了廣泛的應用。在藍寶石CMP系統中,磨料發揮的作用是參與化學反應和機械研磨?;瘜W作用主要是使磨料與被拋材料發生反應,形成易被去除的產物;機械研磨作用主要是使反應生成物脫離被拋材料表面,使材料新生表面露出,以便繼續反應去除。

    在拋光液中,磨料是重要因素之一。它提供了CMP 工藝的機械作用,其粒徑、濃度以及硬度均是影響拋光效果的重要參數,其中粒徑是影響拋光速率的主要因素之一。一般來說,磨料粒徑越大,拋光速率就越大;但粒徑過大,則易凝聚成團,而使晶片表面劃痕嚴重。分散度過大,雖然平均粒徑不大,但極個別的大顆粒很容易在被拋材料表面產生劃痕。

    目前,在藍寶石的CMP 工藝中,常用的磨料主要包括金剛石、二氧化硅溶膠、氧化鈰和氧化鋁、碳化硼等磨料,其中二氧化硅溶膠具有粒徑可控、硬度適中、粘度較小、粘附性低、拋光后易清洗等特點而被廣泛應用。

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